簡單的真空系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)

真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構(gòu)成了一個 簡單的真空抽氣系統(tǒng)。

簡單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內(nèi)獲得低真空范圍內(nèi)的真空度，當需要獲得高真空范圍內(nèi)的真空度時，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵。當串聯(lián)一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。